規(guī)格：離子源陽(yáng)極
應(yīng)用：光學(xué)鏡片離子束拋光、半導(dǎo)體晶圓修形
優(yōu)點(diǎn)：污染少
適用：IOT、國(guó)產(chǎn)離子束設(shè)備等
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